低溫等離子體凈化法低溫等離子體是繼固態、液態、氣態以后的物質第四態，當外加電壓到達氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，發生包含電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中盡管電子溫度很高，但重粒子溫度很低，全部系統呈現低溫狀況，所以稱為低溫等離子體
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